| 高功率脉冲磁控溅射类石墨润滑薄膜的结构与性能研究 | |
| 汪爱英 | |
| 2012-07-27 | |
| 会议名称 | 全国青年摩擦学学术会议 |
| 会议日期 | 2012-07-27 |
| 会议地点 | 徐州 |
| 页码 | 1—1 |
| 通讯作者 | 汪爱英 |
| 中文摘要 | 高功率脉冲磁控溅射技术（HIPIMS）作为一种溅射粒子离化率高、可以沉积致密、高性能薄膜的新技术已经在国外广泛研究。本文研究不同脉冲电压对高功率脉冲磁控溅射技术（HIPIMS）制备类石墨（GLC）非晶碳膜结构和性能影响，并与直流磁控溅射（dc-MS）制备的薄膜相比较；采用X射线光电子能谱（XPS）、拉曼光谱仪、原子力显微镜（AFM）和纳米压痕仪分析了薄膜的结构和力学性能；通过球盘式摩擦试验机测试了薄膜在大气环境下的摩擦性能。结果表明：制备的薄膜主要由sp2键组成，属于典型的GLC薄膜，HIPIMS技术更有利于产生sp2键；由HIPIMS制备的类石墨薄膜随脉冲电压的增大，硬度和sp3含量先增大后降低，内应力逐渐增高，粗糙度逐渐降低。HIPIMS制备的GLC薄膜摩擦学性能优于dc-MS制备的GLC薄膜，薄膜的摩擦学性能与sp2含量相关。 |
| 会议录 | 全国青年摩擦学学术会议
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| 会议录出版地 | 徐州 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/10148]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_宁波所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪爱英. 高功率脉冲磁控溅射类石墨润滑薄膜的结构与性能研究[C]. 见:全国青年摩擦学学术会议. 徐州. 2012-07-27. |
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