金和镍掺杂单晶硅片式负温度系数热敏电阻及其制备方法 | |
陈朝阳 ; 范艳伟 ; 董茂进 ; 丛秀云 ; 陶明德 ; 王军华 | |
2011-03-23 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | ZL200810072972.6 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院新疆理化技术研究所 |
中文摘要 | 本发明涉及金和镍掺杂单晶硅片式热敏电阻,该热敏电阻采用涂源高温扩散方法,将过渡金属元素金和镍作为掺杂剂,掺入n型单晶硅中,利用金和镍在n型单晶硅中的电补偿性质,制备出负温度系数热敏材料,然后在精密划片机上划片,芯片两端制作电极,其电极采用镍、银两层结构,实现了硅晶体和电极之间的欧姆接触。所用硅热敏功能材料以单晶硅半导体为基础,掺杂金和镍金属原子,形成深能级俘获中心,使材料产生热敏特性,经过严格控制掺杂原子在硅中的浓度及其分布,易于实现用氧化物陶瓷热敏材料难以实现的高B值低阻值元件,并提高热敏材料和元件的一致性、重复性、稳定性。 |
公开日期 | 2013-11-27 |
申请日期 | 2008-10-15 |
专利申请号 | 200810072972.6 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/3059] ![]() |
专题 | 新疆理化技术研究所_材料物理与化学研究室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈朝阳,范艳伟,董茂进,等. 金和镍掺杂单晶硅片式负温度系数热敏电阻及其制备方法. ZL200810072972.6. 2011-03-23. |
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