双电容结构对电容薄膜真空计输出特性的影响

doi:10.13922/j.cnki.cjvst.202111001

CORC > 兰州理工大学 > 兰州理工大学 > 石油化工学院

	双电容结构对电容薄膜真空计输出特性的影响
	米茂渊 1; 陈叔平 1; 成永军 2; 孙雯君 2; 裴晓强 2; 贾春旺 1; 吴宗礼 1; 马晓勇 1
刊名	真空科学与技术学报
	2022-04-14
页码	1-6
关键词	电容薄膜真空计双电容结构有限元分析输出电容
DOI	10.13922/j.cnki.cjvst.202111001
英文摘要	单电容结构电容薄膜真空计输出结果常受到工作环境的不利影响，计划设置双电容结构改善这一情况。为研究双电容结构对电容薄膜真空计电容输出特性的影响，根据电容计算理论和FEA(Finite Element Analysis)，基于COMSOL Multiphysics软件构建双电容结构有限元模型。通过理论计算和模拟仿真分别得到在不同载荷条件下测量电容和参考电容的理论值和模拟值，分析不同结构的电容随载荷变化情况。结果表明：双电容结构对电容薄膜真空计电容输出特性有一定优化作用。对比单电容结构，双电容结构电容薄膜真空计的优势为，在感压薄膜挠度变化小于其厚度时，线性度提高0.6%，灵敏度降低0.6 pF/Pa；在感压薄膜变形接近固定极板时，线性度提高3.6%，灵敏度降低0.001 pF/Pa。
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语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/157726]
专题	石油化工学院
作者单位	1.兰州理工大学石油化工学院; 2.兰州空间技术物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	米茂渊,陈叔平,成永军,等. 双电容结构对电容薄膜真空计输出特性的影响[J]. 真空科学与技术学报,2022:1-6.
APA	米茂渊.,陈叔平.,成永军.,孙雯君.,裴晓强.,...&马晓勇.(2022).双电容结构对电容薄膜真空计输出特性的影响.真空科学与技术学报,1-6.
MLA	米茂渊,et al."双电容结构对电容薄膜真空计输出特性的影响".真空科学与技术学报 (2022):1-6.