| 题名 | 2.7~2.9um波段红外薄膜的研制 |
| 作者 | 王刚 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2009-06-04 |
| 授予单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 授予地点 | 光电技术研究所 |
| 导师 | 黄伟 |
| 关键词 | 红外薄膜 水吸收 离子辅助 透射率包络法 椭偏法 |
| 其他题名 | Manufacture of the Infrared Thin Films in 2.7-2.9um Wave band |
| 学位专业 | 光学工程 |
| 中文摘要 | 对于空中目标探测系统，2.5至5微米中波波段和8至12微米长波波段是两个常用的红外工作波段。光学薄膜是探测系统中的重要组成部分，对于2.7~2.9um 波段中红外薄膜，由于正处于水吸收波段，存在较严重的水吸收损耗问题。研究如何减少或消除2.7~2.9um中红外薄膜的水吸收，对于制备高质量的中红外光学薄膜具有重要的工程应用意义。 本文针对这一问题，对2.7~2.9um中红外薄膜的膜系优化设计方法、薄膜光学常数的测量方法、单层膜沉积方法和沉积工艺以及高反膜、分色膜的制备等进行了系统研究。具体研究内容包括以下几个方面： 1．给出了光学薄膜的基本设计理论和方法，提出了2.7~2.9um波段减反、高反和分色膜系的设计及优化方法，设计的膜系理论上达到了要求指标。 2．编制了利用透射率包络线法测量弱吸收薄膜光学常数的计算机模拟程序，并利用该程序对镀制的单层膜的光学常数进行了计算，同时利用椭圆偏振仪对单层膜光学常数进行了测量，并将两种方法测量的数据进行了比较分析。 3．研究了中红外光学薄膜在制备过程中基板材料的选取和清洗等工艺、薄膜材料的选取、常规热蒸发法和离子辅助法以及基板温度和辅助离子能量、保护膜层等因素对薄膜膜光学常数和微观结构的影响。 4．设计2.7~2.9um波段高反膜，在特定工艺条件下进行了膜系镀制，并对其光学常数和微观结构进行了测量，实验结果较理想。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-11-19 |
| 页码 | 77 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/365]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王刚. 2.7~2.9um波段红外薄膜的研制[D]. 光电技术研究所. 中国科学院光电技术研究所. 2009. |
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