题名用动态全积分法提高圆分度精度的研究
作者叶大华
学位类别硕士
答辩日期1993
授予单位中国科学院光电技术研究所
授予地点中国科学院光电技术研究所
导师叶盛祥
关键词光栅 圆分度 锁相环(PLL) 动态全积分法 静读数头
中文摘要本文论述了动态全积分法的基本原理,分析比较了几种基本结构和信号处理方法的优缺点,对实现方法的关键技术进行了讨论。基本结构为单盘双圈刻线结构、主光栅双盘结构及“转动读数头”静止结构。信号处理方法为模拟乘法器法、差值计数法、VCO法、同步插值法和倍频插值法。根据现有条件,设计了部分机械零件,选用了差值计数法和锁相环倍频插值法,设计、调试了信号处理电路的软、硬件系统,分析了实验装置的各误差源对测试结果的影响。并做了三个对比实验。经理论分析和初步实验,验证了动态全积分法能很好地消除光栅刻划误差及偏心的影响,适用于高精度测试系统。
语种中文
公开日期2013-11-19
页码48
内容类型学位论文
源URL[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/113]  
专题光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文
推荐引用方式
GB/T 7714
叶大华. 用动态全积分法提高圆分度精度的研究[D]. 中国科学院光电技术研究所. 中国科学院光电技术研究所. 1993.
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