不同基底温度FeNiCoCrMn高熵合金薄膜的制备及耐腐蚀性能的研究 | |
石彦彦; 罗永春; 张国庆 | |
刊名 | 金属功能材料
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2016-08-15 | |
期号 | 2016年04期页码:35-39 |
关键词 | 射频磁控溅射 高熵合金薄膜 组织结构 腐蚀性能 |
ISSN号 | ISSN:1005-8192 |
DOI | 10.13228/j.boyuan.issn1005-8192.2016025 |
英文摘要 | 用射频磁控溅射的方法分别在单晶Si(100)和304不锈钢基底上制备了FeNiCoCrMn高熵合金薄膜,利用EPMA、XRD、SEM和动电位极化测试,确定薄膜的成分并探讨不同基底温度下沉积的薄膜的相结构、膜厚、形貌以及耐腐蚀性能规律。研究表明:高熵合金薄膜的成分与高熵合金靶材的成分一致,组成元素接近等摩尔比,且薄膜成分均匀;基底温度为100、200、300℃沉积的薄膜为非晶结构,基底温度为400、500℃沉积的薄膜为晶体结构;随着基底温度的升高,薄膜的厚度变薄,薄膜表面颗粒越来越大,横截面柱状组织越来越明显;由动电位极化测试的结果得出不同衬底温度沉积的高熵合金薄膜在1mol/L H2SO4溶液中的耐腐蚀性都优于304不锈钢,且随着衬底温度的升高,薄膜的耐腐蚀性能降低,其中100℃沉积的薄膜的耐腐蚀性能最优。 |
URL标识 | 查看原文 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://119.78.100.223/handle/2XXMBERH/5216] ![]() |
专题 | 省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室 材料科学与工程学院 |
作者单位 | 1.兰州理工大学省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室 2.兰州理工大学材料科学与工程学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 石彦彦,罗永春,张国庆. 不同基底温度FeNiCoCrMn高熵合金薄膜的制备及耐腐蚀性能的研究[J]. 金属功能材料,2016(2016年04期):35-39. |
APA | 石彦彦,罗永春,&张国庆.(2016).不同基底温度FeNiCoCrMn高熵合金薄膜的制备及耐腐蚀性能的研究.金属功能材料(2016年04期),35-39. |
MLA | 石彦彦,et al."不同基底温度FeNiCoCrMn高熵合金薄膜的制备及耐腐蚀性能的研究".金属功能材料 .2016年04期(2016):35-39. |
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