不同基底温度FeNiCoCrMn高熵合金薄膜的制备及耐腐蚀性能的研究

doi:10.13228/j.boyuan.issn1005-8192.2016025

CORC > 兰州理工大学 > 兰州理工大学 > 省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室

	不同基底温度FeNiCoCrMn高熵合金薄膜的制备及耐腐蚀性能的研究
	石彦彦 ; 罗永春 ; 张国庆
刊名	金属功能材料
	2016-08-15
期号	2016年04期页码:35-39
关键词	射频磁控溅射高熵合金薄膜组织结构腐蚀性能
ISSN号	ISSN：1005-8192
DOI	10.13228/j.boyuan.issn1005-8192.2016025
英文摘要	用射频磁控溅射的方法分别在单晶Si(100)和304不锈钢基底上制备了FeNiCoCrMn高熵合金薄膜,利用EPMA、XRD、SEM和动电位极化测试,确定薄膜的成分并探讨不同基底温度下沉积的薄膜的相结构、膜厚、形貌以及耐腐蚀性能规律。研究表明:高熵合金薄膜的成分与高熵合金靶材的成分一致,组成元素接近等摩尔比,且薄膜成分均匀;基底温度为100、200、300℃沉积的薄膜为非晶结构,基底温度为400、500℃沉积的薄膜为晶体结构;随着基底温度的升高,薄膜的厚度变薄,薄膜表面颗粒越来越大,横截面柱状组织越来越明显;由动电位极化测试的结果得出不同衬底温度沉积的高熵合金薄膜在1mol/L H2SO4溶液中的耐腐蚀性都优于304不锈钢,且随着衬底温度的升高,薄膜的耐腐蚀性能降低,其中100℃沉积的薄膜的耐腐蚀性能最优。
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语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://119.78.100.223/handle/2XXMBERH/5216]
专题	省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室材料科学与工程学院
作者单位	1.兰州理工大学省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室 2.兰州理工大学材料科学与工程学院
推荐引用方式 GB/T 7714	石彦彦,罗永春,张国庆. 不同基底温度FeNiCoCrMn高熵合金薄膜的制备及耐腐蚀性能的研究[J]. 金属功能材料,2016(2016年04期):35-39.
APA	石彦彦,罗永春,&张国庆.(2016).不同基底温度FeNiCoCrMn高熵合金薄膜的制备及耐腐蚀性能的研究.金属功能材料(2016年04期),35-39.
MLA	石彦彦,et al."不同基底温度FeNiCoCrMn高熵合金薄膜的制备及耐腐蚀性能的研究".金属功能材料 .2016年04期(2016):35-39.