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	提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件
	徐树深; 梅丽文; 张韬
	2013-02-06
著作权人	兰州理工大学温州泵阀工程研究院
国家	中国
文献子类	实用新型
英文摘要	本实用新型提供一种提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，包括靶材和磁环调节杆以及磁环，磁环固定在磁环调节杆上，磁环调节杆内有供冷却水通过的中空结构，磁环的前端是靶材；螺纹法兰和靶材伸缩套用螺纹连接并用定位螺钉定位，将弹性卡圈套入靶材的凹槽中然后将卡套螺母套在弹性卡圈上与螺纹法兰相连接；靶材与靶材伸缩套之间通过橡胶密封圈密封；本实用新型具有的有益效果是：卡套螺母、弹性卡簧、靶材、定位螺钉、橡胶密封圈、隔离板（靶材快要烧蚀穿的时候才用）和靶材伸缩套形成的连接方式，省却了在靶材上加工大直径螺纹（螺纹约占靶材厚度的30%左右）的弊端，提高了靶材利用率。
公开日期	2013-02-06
申请日期	2012-08-08
内容类型	专利
源URL	[http://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/109771]
专题	兰州理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	徐树深,梅丽文,张韬. 提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件. 2013-02-06.

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