| 题名 | 类富勒烯含氢碳薄膜的直流制备及摩擦学性能的研究 |
| 作者 | 郭俊猛 |
| 答辩日期 | 2012 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 兰州理工大学 |
| 导师 | 欧玉静 ; 张俊彦 |
| 关键词 | 类富勒烯 脉冲偏压 直流 低敏感性 淬火 |
| 学位名称 | 工程硕士 |
| 学位专业 | 化学工程领域 |
| 英文摘要 | 本研究通过改变前驱体的参数和电源的能量，采用直流偏压等离子体增强化学气相沉积技术（PECVD），在单晶硅（100）基底成功合成了含氢类富勒烯碳基薄膜，与传统类金刚石薄膜和用脉冲偏压协助方案制备的含氢类富勒烯碳基薄膜相对比，考察了其类富勒烯纳米结构的含量与机械性能和摩擦学性能之间的相互关系，并进一步探讨了直流偏压电源制备的含氢类富勒烯碳基薄膜在不同的载荷，滑动速率，相对湿度条件的摩擦学性能。通过调控前驱体中不同流量的氩气，尝试控制薄膜中类富勒烯纳米结构的含量，研究了类富勒烯纳米结构的含量对机械性能和摩擦学性能的影响，从而找到他们之间的相应关系，根深入的讨论了含氢类富勒烯碳薄膜在大气环境条件下的摩擦润滑机理，为摩擦过程中纳米结构的演变提供理论支持。 |
| 语种 | 中文 |
| 页码 | 45 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/102335]  |
| 专题 | 兰州理工大学 |
| 作者单位 | 兰州理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭俊猛. 类富勒烯含氢碳薄膜的直流制备及摩擦学性能的研究[D]. 兰州理工大学. 2012. |
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