| 题名 | 含氟类金刚石薄膜制备及其摩擦学性能研究 |
| 作者 | 杨涛 |
| 答辩日期 | 2009 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 兰州理工大学 |
| 导师 | 崔锦峰 ; 杨保平 ; 张俊彦 |
| 关键词 | 类金刚石薄膜 F-DLC薄膜 微观结构 摩擦磨损 摩擦机理 |
| 学位名称 | 工学硕士 |
| 学位专业 | 化学工艺 |
| 英文摘要 | 利用等离子增强化学气相沉积系统（PECVD）制备含氟类金刚石（fluorinated diamond like carbon, F-DLC）薄膜，考察了工艺参数对薄膜组成、微观结构和性能的影响，探讨了薄膜微观结构与力学性能、摩擦学和表面特性之间的关系。研究了F-DLC薄膜在大气环境下的低摩擦行为，并建立了F-DLC摩擦学模型以分析其超低摩擦机理。 |
| 语种 | 中文 |
| 页码 | 52 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.lut.edu.cn/handle/2XXMBERH/99357]  |
| 专题 | 兰州理工大学 |
| 作者单位 | 兰州理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨涛. 含氟类金刚石薄膜制备及其摩擦学性能研究[D]. 兰州理工大学. 2009. |
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