Fe掺杂对TiO_2薄膜材料晶体结构转变的影响

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	Fe掺杂对TiO_2薄膜材料晶体结构转变的影响
	王青; 张海峰
刊名	河北师范大学学报(自然科学版)
	2011-11-20
期号	2011年06期页码:594-597
关键词	磁控溅射原位退火 Fe-TiO2薄膜
ISSN号	ISSN：1000-5854
DOI	10.13763/j.cnki.jhebnu.nse.2011.06.005
英文摘要	应用直流磁控溅射方法并结合原位退火工艺,在普通玻璃基片上制备了不同Fe掺杂的TiO2薄膜,沉积过程中保持基底温度300℃.实验结果表明,退火氛围及Fe的掺杂量对TiO2薄膜的结晶状态、微结构及形貌都有很大影响.真空中500℃下退火0.5 h的Fe-TiO2薄膜样品表现为非晶态结构,而空气中500℃下退火0.5 h的该样品则结晶状态良好;随着Fe掺杂量的增加,TiO2薄膜样品逐渐由锐钛矿相向金红石相转变.
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语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://119.78.100.223/handle/2XXMBERH/12708]
专题	兰州理工大学
作者单位	兰州理工大学理学院
推荐引用方式 GB/T 7714	王青,张海峰. Fe掺杂对TiO_2薄膜材料晶体结构转变的影响[J]. 河北师范大学学报(自然科学版),2011(2011年06期):594-597.
APA	王青,&张海峰.(2011).Fe掺杂对TiO_2薄膜材料晶体结构转变的影响.河北师范大学学报(自然科学版)(2011年06期),594-597.
MLA	王青,et al."Fe掺杂对TiO_2薄膜材料晶体结构转变的影响".河北师范大学学报(自然科学版) .2011年06期(2011):594-597.