自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析

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	自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析
	赵晨行 ; 卢启鹏 ; 宋源 ; 龚学鹏 ; 王依 ; 徐彬豪
刊名	中国光学
	2020-08-13
卷号	13 期号:04 页码:787-794
关键词	面形误差无应力夹持有限元分析重力补偿自由电子激光光束线
英文摘要	反射镜是自由电子激光光束线中的重要光学元件,反射镜自重引起的面形误差会严重影响光束线的成像质量。为减小自重引起的面形误差,基于Bessel点理论提出了重力补偿方案,并设计了无应力夹持装置,利用有限元软件对该装置进行仿真分析。以尺寸为440 mm×50 mm×50 mm的反射镜为例进行分析,传统支撑方式下反射镜下表面面形误差为1.647μrad,采用本文提出的夹持方案后面形误差降至0.085 7μrad,优于工程指标0.1μrad。为防止反射镜在工作模式切换时发生窜动,可对反射镜添加不超过2 N的微小夹持力,此时反射镜的面形误差为0.093 9μrad。此外,还对装置进行了动力学分析,结果显示:该设计方案可有效防止装置存在较低的固有频率,在使用过程中不会产生共振现象,满足光束线的使用需求。
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内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/64269]
专题	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位	1.中国科学院大学 2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	赵晨行,卢启鹏,宋源,等. 自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析[J]. 中国光学,2020,13(04):787-794.
APA	赵晨行,卢启鹏,宋源,龚学鹏,王依,&徐彬豪.(2020).自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析.中国光学,13(04),787-794.
MLA	赵晨行,et al."自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析".中国光学 13.04(2020):787-794.