| 一种钙钛矿薄膜太阳能电池的飞秒激光刻蚀工艺方法 | |
| 汪远昊; 杨丽萍; 李萌 | |
| 2021-06-01 | |
| 著作权人 | 中国科学院新疆理化技术研究所 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 | 本发明公开使用钙钛矿薄膜太阳能电池的飞秒激光蚀刻工艺方法，激光蚀刻工艺在镀镍层上进行镀覆的方法，包括：在原材料的表面上形成镀镍层；通过在镀镍层上激光蚀刻图形而形成激光蚀刻层；以及在激光蚀刻层上形成镀铬层。其次，通过飞秒激光刻蚀技术，对钙钛矿薄膜太阳能电池进行处理，本发明的优点是刻蚀工艺步骤简单，刻蚀加工图形和路径编程程序可调整，输入控制系统即可全自动化操作，飞秒激光的高能高效高精准保证了刻蚀精度显著提高，对刻蚀线周围材料损伤小，环保，易于工业生产广泛应用。 |
| 申请日期 | 2021-01-20 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/8016]  |
| 专题 | 新疆理化技术研究所_环境科学与技术研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪远昊,杨丽萍,李萌. 一种钙钛矿薄膜太阳能电池的飞秒激光刻蚀工艺方法. 2021-06-01. |
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