金属铌表面${\\rm{Ar/}}{{\\rm{O}}_2}$等离子体在线清洗的实验研究

	金属铌表面${\\rm{Ar/}}{{\\rm{O}}_2}$等离子体在线清洗的实验研究
	李敏 2; 杨黎 2; 陈建军 2; 陈波 2; 王宏彬 2; 吴安东 1; 叶宗标 2; 芶富均 2; 韦建军 2
刊名	四川大学学报. 自然科学版
	2020
卷号	57 期号:6 页码:1147-1151
关键词	Plasma cleaning Online monitoring Work function Residual gas 等离子体清洗在线监测功函数残余气体
ISSN号	0490-6756
英文摘要	超导铌腔的碳氢污染问题导致铌表面的功函数下降,引起场致发射,使超导腔的加速梯度恶化,运行一段时间后必须对其碳氢污染进行清洗才能保证正常使用.针对众多清洗装置用等离子体清洗后无法对其清洗效果进行准确、及时地判断从而控制清洗截止点,而采用离线测试又会造成一定的二次污染的问题,本文提出了基于静电四极等离子体(Electrostatic Quadrupole Plasma,EQP)质谱分析仪及开尔文探针的等离子体清洗及在线监测装置,成功地将等离子体清洗与残余气体监测集成并投入使用.实验过程中,通过在线监测清洗的副产物及功函数的变化,证明了电感耦合等离子体源产生的密度为${10^{16}} \sim {10^{17}}{{\rm\;{m}}^{ - 3}}$的氩、氧混合等离子体,能有效清除铌样品表面的碳氢污染,并对铌表面进行一定的氧化改性,将功函数由4.0eV提升至5.3eV左右.
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:6858148
内容类型	期刊论文
源URL	[http://119.78.100.186/handle/113462/137991]
专题	中国科学院近代物理研究所
作者单位	1.中国科学院近代物理研究所 2.四川大学
推荐引用方式 GB/T 7714	李敏,杨黎,陈建军,等. 金属铌表面${\\rm{Ar/}}{{\\rm{O}}_2}$等离子体在线清洗的实验研究[J]. 四川大学学报. 自然科学版,2020,57(6):1147-1151.
APA	李敏.,杨黎.,陈建军.,陈波.,王宏彬.,...&韦建军.(2020).金属铌表面${\\rm{Ar/}}{{\\rm{O}}_2}$等离子体在线清洗的实验研究.四川大学学报. 自然科学版,57(6),1147-1151.
MLA	李敏,et al."金属铌表面${\\rm{Ar/}}{{\\rm{O}}_2}$等离子体在线清洗的实验研究".四川大学学报. 自然科学版 57.6(2020):1147-1151.