面向ZnO压电传感器制造的介电泳装配方法

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	面向ZnO压电传感器制造的介电泳装配方法
	田孝军; 许可; 董再励
	2012-06-06
专利国别	中国
专利号	CN102485641A
专利类型	发明
产权排序	1
权利人	中国科学院沈阳自动化研究所
其他题名	ZnO piezoelectric sensor manufacturing-oriented dielectrophoresis assembly method
中文摘要	本发明涉及纳米操作领域，公开一种面向ZnO压电传感器制造的介电泳装配方法。将酒精分析纯溶液与ZnO混合，经超声振荡和脉冲后，实现ZnO有效分散，即完成预处理。再利用介电泳技术实现对ZnO在微电极上的有效可控装配。本发明提出的方法，对ZnO所具有的物理、化学性质不会产生任何破坏，可操作性与可重复性强，为ZnO压电传感器的制造提供了新的可行技术途径。
是否PCT专利	否
英文摘要	The invention relates to the field of nano operation, and discloses a ZnO piezoelectric sensor manufacturing-oriented dielectrophoresis assembly method. In the method, alcohol analysis pure solution is mixed with ZnO, and after ultrasonic oscillation and pulse, ZnO is effectively dispersed to finish pretreatment and then, effective controllable assembly of ZnO on a micro electrode is realized by use of the dielectrophoresis technology. The method disclosed by the invention does not cause any damage to the physical and chemical properties of ZnO, has strong operability and repeatability, and provides a new feasible technical means for the manufacturing of a ZnO piezoelectric sensor.
申请日期	2010-12-06
语种	中文
专利申请号	CN201010574712.6
专利代理	沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
内容类型	专利
源URL	[http://ir.sia.cn/handle/173321/13770]
专题	沈阳自动化研究所_机器人学研究室
推荐引用方式 GB/T 7714	田孝军,许可,董再励. 面向ZnO压电传感器制造的介电泳装配方法. CN102485641A. 2012-06-06.