凸二次曲面的工艺球面补偿检测

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	凸二次曲面的工艺球面补偿检测
	陈泽 2; 胡明勇 1; 赵奇 1; 范二荣 1
刊名	光电工程
	2016
卷号	043 期号:009 页码:56
ISSN号	1003-501X
英文摘要	在非球面的检测中，工艺球面补偿检测是最普遍的方法。针对该方法适用范围的局限性，本文提出了应用工艺球面补偿检测时非球面所必须满足的条件。根据波像差理论和瑞利判据，推导出凸二次曲面能够应用工艺球面补偿检测所必须满足的条件，并采用有限距离正面补偿检测的方法，对工艺球面补偿检测的局限性提出了改进。最终结果表明本文所提出的理论能够判定，所需要研制的凸双曲面镜不能直接应用工艺球面补偿检测，而组合补偿检测方法能够保证凸双曲面的面形精度δPV=0.1598λ优于λ/6（λ=632.8 nm），满足技术指标。
语种	英语
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.bao.ac.cn/handle/114a11/41919]
专题	中国科学院国家天文台
作者单位	1.合肥工业大学 2.中国科学院国家天文台
推荐引用方式 GB/T 7714	陈泽,胡明勇,赵奇,等. 凸二次曲面的工艺球面补偿检测[J]. 光电工程,2016,043(009):56.
APA	陈泽,胡明勇,赵奇,&范二荣.(2016).凸二次曲面的工艺球面补偿检测.光电工程,043(009),56.
MLA	陈泽,et al."凸二次曲面的工艺球面补偿检测".光电工程 043.009(2016):56.