一种原位测试样品平台 | |
朱大明; 李晓龙; 刘春泽; 顾月良; 阴广志; 高兴宇; 黎忠 | |
2015-03-25 | |
著作权人 | 中国科学院上海应用物理研究所 |
专利号 | CN104458780A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明提供一种原位测试样品平台,包括:样品台;样品台底座,其安装在所述样品台的下表面;用于承载样品的陶瓷加热片,其内部设有电热丝和热电偶;加热片支撑架,其支撑所述陶瓷加热片以使其悬空设置在所述样品台上方;温度控制系统,其连接至所述电热丝和所述热电偶,以实时控制所述陶瓷加热片的温度;以及循环水冷系统,其固定连接至所述样品台的下表面,以对所述样品台进行冷却。本发明能够以在线的方式对样品的升温、高温热处理和降温过程进行原位测试,并且由于温度控制系统和循环水冷系统互不影响,能够在保证循环水冷系统正常工作的条件下,使样品台温度不至于太高,并且不影响陶瓷加热片正常高温工作。 |
公开日期 | 2015-03-25 |
申请日期 | 2014-12-09 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/33792] |
专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱大明,李晓龙,刘春泽,等. 一种原位测试样品平台. CN104458780A. 2015-03-25. |
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