一种锥度可控的微群孔高效激光加工方法 | |
江浩; 谭羽; 李明 | |
2020-03-23 | |
著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
专利号 | CN202010207626.5 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
产权排序 | 1 |
英文摘要 | 本发明提供一种锥度可控的微群孔高效激光加工方法,解决现有激光微孔加工方法存在锥度不可控以及加工效率低的问题。其包括以下步骤;步骤一、激光器发出的光束经扩束镜实现激光扩束,然后进入旋光系统;步骤二、旋光系统根据微孔加工的孔径及锥度要求旋转激光束,使其满足加工要求;步骤三、扫描振镜按被加工零件的微孔加工位置对旋光系统的出射光束进行定位;步骤四、激光束通过场镜后实现聚焦并作用于被加工零件表面,实现微孔的加工;步骤五、控制激光器关闭激光,驱动扫描振镜的内部反射镜切换至下一微孔的加工位置;步骤六、循环步骤一至步骤五实现所有微孔的加工。 |
公开日期 | 2020-08-07 |
申请日期 | 2020-03-23 |
语种 | 中文 |
状态 | 申请中 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/95171] |
专题 | 西安光学精密机械研究所_瞬态光学技术国家重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 江浩,谭羽,李明. 一种锥度可控的微群孔高效激光加工方法. CN202010207626.5. 2020-03-23. |
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