题名 | CMOS图像传感器在质子辐照下产生热像素的规律与机理研究 |
作者 | 王田晖 |
答辩日期 | 2018-05-30 |
授予单位 | 中国科学院大学 |
授予地点 | 中国科学院新疆理化技术研究所 |
导师 | 李豫东 |
关键词 | Cmos图像传感器 热像素 质子辐照 位移损伤 暗信号 |
学位名称 | 硕士 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
英文摘要 | CMOS图像传感器(CMOS Image Sensor,CIS)在空间光电探测领域获得了越来越广泛的应用。空间辐射环境作用于CIS可产生辐射损伤效应:电离总剂量效应、位移损伤、单粒子效应。目前,CIS电离总剂量效应的研究开展较多,而位移损伤研究开展相对较少,特别对于位移损伤导致的CIS热像素,还缺乏深入认识。然而,哈勃望远镜、美国中段探测试验卫星及NEOssat等卫星上都出现了空间位移损伤效应导致的CCD热像素,对卫星的光电探测性能产生了严重影响。因此,有必要针对位移损伤导致CIS热像素的规律与机理开展研究,从而可通过地面试验评估和预计CIS的空间环境适应性,并采取相应的应对措施,为CIS的空间应用提供科学依据与技术支撑。本文通过CIS的质子辐照试验及退火试验,研究了CMOS图像传感器在质子辐照下产生热像素的规律与机理。首先,基于目前光电成像器件位移损伤的研究方法,建立了针对CIS热像素的测试方法:先通过辐照前后器件暗场图像的采集与处理,获得位移损伤导致热像素的总体规律,然后分析单个热像素暗的变化规律,通过统计获得整体效应规律的同时,也可深入分析局部的规律与机理。针对CIS器件进行了3MeV和10MeV质子辐照实验。在实验过程中针对每种能量质子进行了多个注量点测试。辐照实验结束后,对器件进行常温退火实验,获得热像素随着时间的变化规律,对比不同辐照条件下热像素的退火规律。在实验结束后,根据不同能量质子对器件产生的影响,结合质子在半导体内部产生缺陷的理论分析,获得了不同缺陷产生的热像素的性质,并进行了对比。然后,对辐照后的CIS器件进行了等时的变温退火实验,获得了不同温度下器件热像素的变化规律,对照不同缺陷在不同温度下的表现,获得了不同能量质子导致的缺陷的组成。不同温度的退火也可以给空间应用提供一个减轻热像素影响的指导。此外,在测试的时候采用了变温测试,用以计算器件的激活能,从而判断是否存在电场增强效应。通过辐照实验,发现3MeV质子相对于10MeV质子能产生更多的热像素,但是产生的热像素亮度不如10MeV质子。而无论何种质子,产生的热像素数量都随着注量的提升呈线性增长。经过常温退火后,发现3MeV质子产生的热像素不如10MeV质子产生的温度。经过变温退火实验和变温测试,确定器件内的主要缺陷是空缺-磷原子对和E70,这个CIS器件不存在电场增强效应。 |
页码 | 65 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/5472] ![]() |
专题 | 固体辐射物理研究室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王田晖. CMOS图像传感器在质子辐照下产生热像素的规律与机理研究[D]. 中国科学院新疆理化技术研究所. 中国科学院大学. 2018. |
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