本发明提供一种化合物氟硼酸铯和氟硼酸铯非线性光学晶体及制备方法和用途，所述化合物的化学式为CsB4O6F，分子量为291.15，为晶体结构，采用固相合成法或真空封装法制成，所述晶体的化学式为CsB4O6F，分子量为291.15，属于正交晶系，空间群为Pna21，晶胞参数为a=7.9241 Å，b=11.3996 Å，c=6.6638 Å，α=β=γ=90°，单胞体积为601.95 Å3。该晶体的倍频效应约为KH2PO4 (KDP) 的2倍，紫外吸收边短于190 nm。CsB4O6F采用熔体法，高温熔液法，真空封装法，水热法或室温溶液法生长晶体，该晶体在空气中不潮解，化学稳定性好，可作为紫外、深紫外非线性光学晶体在全固态激光器中获得应用。