以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示

	以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示
	余江 ; 刘佳丽 ; 甘泉 ; 李世光 ; 张越
刊名	中国科学院院刊
	2020-01-20
卷号	35 期号:01 页码:112-117
关键词	重大原始创新国家战略科技力量新一代光刻技术创新策源地
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.casisd.cn/handle/190111/9727]
专题	中国科学院科技战略咨询研究院
作者单位	1.中国科学院大学公共政策与管理学院 2.中国科学院发展规划局 3.中国科学院微电子研究所 4.中国科学院科技战略咨询研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	余江,刘佳丽,甘泉,等. 以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示[J]. 中国科学院院刊,2020,35(01):112-117.
APA	余江,刘佳丽,甘泉,李世光,&张越.(2020).以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示.中国科学院院刊,35(01),112-117.
MLA	余江,et al."以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示".中国科学院院刊 35.01(2020):112-117.