一种纳米多层结构碳基薄膜的制备方法
李红轩; 王伟奇; 吉利; 刘晓红; 周惠娣; 陈建敏
2020-06
著作权人中国科学院兰州化学物理研究所
专利号ZL201810590511.1
国家2020-06
文献子类发明专利
语种中文
状态已授权
内容类型专利
源URL[http://ir.licp.cn/handle/362003/27009]  
专题兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心
兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
李红轩,王伟奇,吉利,等. 一种纳米多层结构碳基薄膜的制备方法. ZL201810590511.1. 2020-06-01.
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