用于微结构气体探测器的类金刚石碳阻性电极制备研究

	用于微结构气体探测器的类金刚石碳阻性电极制备研究
	尚伦霖 1,3; 周意 2; 吕游 2; 张广安 3; 李文生 1
刊名	原子能科学技术
	2020
卷号	54 期号:6 页码:968-974
关键词	微结构气体探测器类金刚石碳阻性电极面电阻
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.licp.cn/handle/362003/26870]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
通讯作者	李文生
作者单位	1.兰州理工大学材料科学与工程学院 2.核探测与核电子学国家重点实验室，中国科学技术大学 3.中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	尚伦霖,周意,吕游,等. 用于微结构气体探测器的类金刚石碳阻性电极制备研究[J]. 原子能科学技术,2020,54(6):968-974.
APA	尚伦霖,周意,吕游,张广安,&李文生.(2020).用于微结构气体探测器的类金刚石碳阻性电极制备研究.原子能科学技术,54(6),968-974.
MLA	尚伦霖,et al."用于微结构气体探测器的类金刚石碳阻性电极制备研究".原子能科学技术 54.6(2020):968-974.