| 题名 | 磁控溅射制备各向异性磁电阻的工艺研究 |
| 作者 | 冯润东 |
| 答辩日期 | 2021-05-16 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 张文伟 |
| 关键词 | 各向异性磁阻 磁控溅射 传感器 |
| 语种 | 中文 |
| 学科主题 | 半导体技术 |
| 页码 | 88 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/94854]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_研究生部 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯润东. 磁控溅射制备各向异性磁电阻的工艺研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2021. |
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