一种真空紫外光机系统装调方法及装置
秦文强; 王博; 郑锦坤; 杨伟华; 白永林; 王乐
2019-12-31
著作权人中国科学院西安光学精密机械研究所
专利号CN201911407472.8
国家中国
文献子类发明专利
产权排序1
英文摘要本发明提供了一种真空紫外光机系统装调方法及装置,旨在克服真空紫外光机系统反复进出真空罐导致的耗时、低效等缺点。本发明首先通过将紫外星点目标根据等效物距作离焦处理,从而无需真空腔体,即在大气环境中即可完成对真空紫外光机系统的装调工作(装调效果等效于在真空腔室内对真空紫外光学系统装调);再通过特定的控制算法,配合精密步进电机的移动进行迭代计算,以精密步进电机的位移量确定出所需修切垫圈的尺寸,从而实现自动化装调(修正探测器焦面位置),便捷高效、准确。
语种中文
状态申请中
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/94047]  
专题空间科学微光探测技术研究室
推荐引用方式
GB/T 7714
秦文强,王博,郑锦坤,等. 一种真空紫外光机系统装调方法及装置. CN201911407472.8. 2019-12-31.
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