| 一种多波长激光器阵列及其制造方法 | |
| 黄长统; 薛正群; 苏辉; 刘阳; 吴林福生; 杨重英 | |
| 2019-07-26 | |
| 著作权人 | 深圳市特发信息股份有限公司 |
| 专利号 | CN110061423A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种多波长激光器阵列及其制造方法 |
| 英文摘要 | 本发明实施例涉及一种多波长激光器阵列及其制造方法，所述阵列包括衬底及利用不同宽度的介质掩膜在衬底上生长的多个波长不同的选择生长区域外延层，所述选择生长区域外延层自下而上依次包括缓冲层、下波导层、多量子阱、上波导层和覆盖层；在选择生长区域的覆盖层和在选择生长区域以外的区域自下而上依次包括腐蚀停止层、空间层、过渡层和欧姆接触层。该阵列实现了单片上多波长输出的激光器阵列，降低了激光器实际应用成本，减小了体积。 |
| 公开日期 | 2019-07-26 |
| 申请日期 | 2018-12-07 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92435]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 深圳市特发信息股份有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄长统,薛正群,苏辉,等. 一种多波长激光器阵列及其制造方法. CN110061423A. 2019-07-26. |
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