| 波导结构 | |
| S·戴维斯; M·科尔立; S·法维尔 | |
| 2019-05-24 | |
| 著作权人 | 朗美通技术英国有限公司 |
| 专利号 | CN109804513A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 波导结构 |
| 英文摘要 | 一种波导结构，包括具有热可控部分的波导，以及制造该结构的方法。所述波导结构包括多个层。这些层依次包括：衬底(306)、牺牲层(305)、下包层(303)、波导芯层(302)和上包层(301)。下包层、波导芯层和上包层形成波导，波导具有波导芯。波导结构具有连续的通孔(307)，该通孔穿过上包层、波导芯层和下包层，并且沿着热可控部分的基本上整个长度平行于波导脊(304)延伸。波导结构还在牺牲层中具有绝热区域(308)，该绝热区域沿着热可控部分的整个长度至少从通孔延伸到波导脊之外。牺牲层包括在绝热区域外部的牺牲材料，以及在绝热区域内分隔下包层和衬底的绝热间隙(308)或绝热材料。通过经由通孔向牺牲层提供湿蚀刻以从至少绝热区域移除材料来制造该结构。 |
| 公开日期 | 2019-05-24 |
| 申请日期 | 2017-09-29 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92394]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 朗美通技术英国有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | S·戴维斯,M·科尔立,S·法维尔. 波导结构. CN109804513A. 2019-05-24. |
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