| THz天线及其制作方法 | |
| 梁松; 朱洪亮 | |
| 2019-01-04 | |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 专利号 | CN109149322A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | THz天线及其制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明提供了一种THz天线制作方法，包括：在衬底上依次生长缓冲层、波导层及间隔层；选择性去除衬底上增益区的间隔层后生长量子阱材料层；选择性去除衬底上增益区外的量子阱材料层；选择性去除衬底上混频器区的间隔层材料后生长混频器材料层；选择性去除衬底上混频器区外的混频器材料层，并选择性去除衬底上相位区内的间隔层后生长接触层，制备THz天线材料；利用所制备的THz天线材料制作所述THz天线。本发明还提供了一种THz天线。本发明THz天线及其制作方法，将多种功能光电子器件制作于同一衬底之上，有效提高了整个系统性能。 |
| 公开日期 | 2019-01-04 |
| 申请日期 | 2017-06-27 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92312]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁松,朱洪亮. THz天线及其制作方法. CN109149322A. 2019-01-04. |
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