一种脊波导电极开窗的方法 | |
曲迪; 白国人; 陈墨; 靳春艳; 宋学颍 | |
2018-11-20 | |
著作权人 | 华慧芯科技(天津)有限公司 |
专利号 | CN108847574A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 一种脊波导电极开窗的方法 |
英文摘要 | 本发明公开了一种脊波导电极开窗的方法,包括:步骤:S1、对晶元上沉积的波导层进行刻蚀,形成脊波导结构及脊波导结构两侧的结构;S2、在脊波导结构及脊波导结构两侧结构的上表面生成电解质绝缘层;S3、在电解质绝缘层上涂覆下光刻胶,该下光刻胶的上表面高出脊波导结构的上表面;S4、在下光刻胶的上表面沉积金属介质层;S5、在金属介质层的上表面旋涂上光刻胶,利用掩膜版对脊波导结构上方的上光刻胶进行曝光和显影;S6、去除脊波导结构上方的金属介质层;S7、干法刻蚀去除上光刻胶和下光刻胶层;S8、去除脊波导结构上方的电解质绝缘层;S9、通过lift‑off工艺,去除电解质绝缘层上方的下光刻胶及金属介质层。 |
公开日期 | 2018-11-20 |
申请日期 | 2018-06-26 |
状态 | 申请中 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92276] |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 华慧芯科技(天津)有限公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 曲迪,白国人,陈墨,等. 一种脊波导电极开窗的方法. CN108847574A. 2018-11-20. |
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