一种p-GaN/ZnO基多量子阱/n-ZnO结构的发光二极管及激光器及其制备方法 | |
叶志镇; 陈珊珊; 潘新花; 黄靖云; 何海平; 吕斌 | |
2016-07-13 | |
著作权人 | 浙江大学 |
专利号 | CN105762243A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 一种p-GaN/ZnO基多量子阱/n-ZnO结构的发光二极管及激光器及其制备方法 |
英文摘要 | 本发明公开了一种p‑GaN/ZnO基多量子阱/n‑ZnO结构的发光二极管及激光器及其制备方法,该发光二极管及激光器包括p‑GaN层、ZnO/ZnMgO多量子阱层、n‑ZnO层和金属电极。其制备方法如下:首先采用分子束外延法在p‑GaN薄膜上先后制备ZnO/ZnMgO多量子阱层和n‑ZnO层;然后分别在p‑GaN及n‑ZnO区镀上金属电极。本发明所制备的器件采用ZnO/ZnMgO多量子阱作为有源层,可降低发光二极管及激光器的阈值并提高其发光效率;此外,为解决同质结构中高效稳定的p‑ZnO难以实现的问题,本发明采用p‑GaN作为空穴注入层;同时,相比于其它p型材料,GaN具有与ZnO结构相同、外延失配低的优势。 |
公开日期 | 2016-07-13 |
申请日期 | 2016-03-31 |
状态 | 失效 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92088] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 浙江大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 叶志镇,陈珊珊,潘新花,等. 一种p-GaN/ZnO基多量子阱/n-ZnO结构的发光二极管及激光器及其制备方法. CN105762243A. 2016-07-13. |
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