| 激光蚀刻装置的可调式空间滤波器 | |
| 普伦斯·伊沃·力伯吐斯·阿德里安纳斯·约翰内斯·玛丽亚; 斯米特·维尔赫穆斯·休伯特斯; 弗哈尔特·赫拉尔杜斯·约翰内斯; 范·德·斯塔姆·卡雷尔·梅科尔·理查德; 克尼佩斯·奎多·马蒂纳斯·亨里克斯 | |
| 2015-04-29 | |
| 著作权人 | 先进科技新加坡有限公司 |
| 专利号 | CN104577709A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 激光蚀刻装置的可调式空间滤波器 |
| 英文摘要 | 本发明公开一种沿着划线槽辐射蚀刻大体平整的半导体衬底的装置，该划线槽在该衬底上的目标表面上的相对行的半导体器件之间延伸，划线槽具有平行于第一方向的长度和平行于第二方向的宽度，该第一第二方向各自平行于卡迪尔坐标系统的Y轴，该装置包含有：衬底固定器，用于固定衬底；照射器，用于生成可调式的数个光束的阵列；投射系统，用于将光束聚焦在衬底固定于衬底固定器时的目标表面；驱动器系统，用于使得衬底固定器相对于光束在平行于XY平面上引起相对位移；该装置还包含有：可调式的空间滤波器，其设置在照射器和衬底固定器之间，该空间滤波器包括多个机动板体，该机动板体的位置能够被调整以致于至少部分地阻挡所述的阵列的选定光束。 |
| 公开日期 | 2015-04-29 |
| 申请日期 | 2014-10-08 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92015]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 先进科技新加坡有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 普伦斯·伊沃·力伯吐斯·阿德里安纳斯·约翰内斯·玛丽亚,斯米特·维尔赫穆斯·休伯特斯,弗哈尔特·赫拉尔杜斯·约翰内斯,等. 激光蚀刻装置的可调式空间滤波器. CN104577709A. 2015-04-29. |
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