| 一种用于激光直写曝光机的多波长紫外半导体激光器 | |
| 张宽 | |
| 2016-10-12 | |
| 著作权人 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 专利号 | CN106019856A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种用于激光直写曝光机的多波长紫外半导体激光器 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种用于激光直写曝光机的多波长紫外半导体激光器，与现有技术相比解决了尚无多波长半导体激光器的缺陷。本发明包括壳体，所述的壳体内安装有上排405nm半导体发光阵列和下排375nm半导体发光阵列，壳体的侧部设有一号光纤输出端口和二号光纤输出端口，上排405nm半导体发光阵列和下排375nm半导体发光阵列分别位于一号光纤输出端口的两侧。本发明将不同波段半导体发光二极管发出的光通过非球面耦合透镜收进光纤，再对不同波段的光纤进行一定比例的搭配捆绑，达到同一输出光纤束具有不同波长的目的，同时满足激光器的高功率。 |
| 公开日期 | 2016-10-12 |
| 申请日期 | 2016-07-22 |
| 状态 | 失效 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91668]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张宽. 一种用于激光直写曝光机的多波长紫外半导体激光器. CN106019856A. 2016-10-12. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论