| 集成电极电光调谐回音壁模式微腔的制备方法 | |
| 程亚; 汪旻; 林锦添; 方致伟; 廖洋; 王鹏; 乔玲玲 | |
| 2017-02-01 | |
| 著作权人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 专利号 | CN106374335A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 集成电极电光调谐回音壁模式微腔的制备方法 |
| 英文摘要 | 一种利用飞秒激光微加工技术制备集成电极可电光调谐回音壁模式光学微腔的方法，包括飞秒激光辅助诱导化学镀电极、飞秒激光刻蚀微腔结构、聚焦离子束研磨及化学腐蚀等步骤，经本发明方法制备的三维回音壁模式光学微腔通过腔体与外围环境的折射率比实现光的连续全内反射，具有极高的表面光滑度，支持小的模式体积与高的品质因子(>105)。与此同时，横向集成的电极可以实现对微腔周围电场的精确调控，利用腔体材料本身的电光效应，实现折射率的连续可调，进而达到回音壁模式腔模调谐的目的。该方法适用于各种具有电光效应的介质薄膜材料。 |
| 公开日期 | 2017-02-01 |
| 申请日期 | 2016-10-31 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90546]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 程亚,汪旻,林锦添,等. 集成电极电光调谐回音壁模式微腔的制备方法. CN106374335A. 2017-02-01. |
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