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	一种基于EBL的激光器加工方法及其应用方法
	赵建宜; 王任凡; 张明洋
	2017-07-11
著作权人	武汉光迅科技股份有限公司
专利号	CN106941241A
国家	中国
文献子类	发明申请
其他题名	一种基于EBL的激光器加工方法及其应用方法
英文摘要	本发明涉及激光器技术领域，提供了一种基于EBL的激光器加工方法及其应用方法。所述加工方法包括：确定均匀光栅激光器的光栅区结构所对应的第一反射峰的相关参数；获取激光器允许制作的光栅区结构的相关参数区间；根据允许制作的光栅区结构的相关参数区间，求解得到均匀光栅所能取得的最大耦合系数，以及对应制作的光栅区结构的相关参数值；根据第一反射峰的相关参数和最大耦合系数，计算得到取样光栅的最小光栅区长度；将取样光栅的最小光栅区长度和光栅区结构的相关参数值作为激光器光栅区制作的输入参数。本发明利用含最小光栅区长度的取样光栅替代已有的均匀光栅结构，能够减少光刻的总量，改善加工工艺的复杂度，提高激光芯片的生产效率。
公开日期	2017-07-11
申请日期	2016-10-21
状态	授权
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90458]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	武汉光迅科技股份有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	赵建宜,王任凡,张明洋. 一种基于EBL的激光器加工方法及其应用方法. CN106941241A. 2017-07-11.

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