III族氮化物半导体光元件、外延衬底
善积祐介; 盐谷阳平; 秋田胜史; 上野昌纪; 京野孝史; 中村孝夫
2012-05-23
著作权人住友电气工业株式会社
专利号CN102474076A
国家中国
文献子类发明申请
其他题名III族氮化物半导体光元件、外延衬底
英文摘要本发明提供包含低电阻化的p型氮化镓基半导体层的III族氮化物半导体光元件。支撑体13的主面13a相对于基准平面Sc形成40度以上且140度以下的角度ALPHA,基准平面Sc正交于在该III族氮化物半导体的c轴的方向上延伸的基准轴Cx。主面13a显示出半极性及无极性中的任一种。n型GaN基半导体层15设置在支撑体13的主面13a上。n型GaN基半导体层15、有源层19及p型GaN基半导体层17排列在法线轴Nx的方向上。p型GaN基半导体层17中添加有镁作为p型掺杂剂,p型GaN基半导体层17含有碳作为p型掺杂剂。p型GaN基半导体层17的碳浓度为2×1016cm-3以上且1×1019cm-3以下。
公开日期2012-05-23
申请日期2010-07-13
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90452]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位住友电气工业株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
善积祐介,盐谷阳平,秋田胜史,等. III族氮化物半导体光元件、外延衬底. CN102474076A. 2012-05-23.
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