四段式放大反馈混沌光发射激光器结构
潘碧玮; 陆丹; 赵玲娟; 余力强; 周代兵; 朱洪亮; 王圩; 张莉萌
2015-09-30
著作权人中国科学院半导体研究所
专利号CN104953468A
国家中国
文献子类发明申请
其他题名四段式放大反馈混沌光发射激光器结构
英文摘要一种四段式放大反馈混沌光发射激光器结构,包括:一衬底;一n-InP缓冲层制作在衬底上;一InGaAsP下限制层制作在n-InP缓冲层上;一多量子阱增益层制作在InGaAsP下限制层上;一InGaAsP上限制层制作在多量子阱有源层上;一p-InP盖层制作于InGaAsP上限制层上方,其上有一凸起的脊形;一p-InGaAs接触层制作于p-InP盖层的上方;一TiAu金属电极制作于p-InGaAs接触层的上方;一AuGeNi金属电极制作于衬底的下方,形成四段式放大反馈混动光发射激光器结构;该四段式放大反馈混动光发射激光器结构分为激光器区、相区、放大反馈区和透明区。本发明具有可单片集成、结构紧凑、稳定性好、制作工艺简单的优点。
公开日期2015-09-30
申请日期2014-03-25
状态失效
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90385]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
潘碧玮,陆丹,赵玲娟,等. 四段式放大反馈混沌光发射激光器结构. CN104953468A. 2015-09-30.
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