Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体基板的制造方法 | |
上田和正; 西川直宏; 笠原健司 | |
2009-05-13 | |
著作权人 | 住友化学株式会社 |
专利号 | CN101432850A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体基板的制造方法 |
英文摘要 | 本发明涉及III-V族氮化物半导体基板的制造方法。本发明的III-V族氮化物半导体基板的制造方法包括工序(I-1)~(I-6):(I-1)在衬底基板上配置无机粒子;(I-2)以无机粒子为蚀刻掩模,干法蚀刻衬底基板,在衬底基板上形成凸部;(I-3)在衬底基板上形成外延生长掩模用的被膜;(I-4)去除无机粒子形成衬底基板的露出面;(I-5)在衬底基板的露出面上生长III-V族氮化物半导体;(I-6)将III-V族氮化物半导体与衬底基板分离。此外,本发明的III-V族氮化物半导体基板的制造方法包括工序(II-1)~(II-7):(II-1)在衬底基板上配置无机粒子;(II-2)以无机粒子为蚀刻掩模,干法蚀刻衬底基板,在衬底基板上形成凸部;(II-3)去除无机粒子;(II-4)在衬底基板上形成外延生长掩模用的被膜;(II-5)去除凸部的顶部的被膜形成衬底基板的露出面;(II-6)在衬底基板的露出面上生长III-V族氮化物半导体;(II-7)将III-V族氮化物半导体与衬底基板分离。 |
公开日期 | 2009-05-13 |
申请日期 | 2007-03-08 |
状态 | 授权 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90301] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 住友化学株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 上田和正,西川直宏,笠原健司. Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体基板的制造方法. CN101432850A. 2009-05-13. |
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