半导体发光元件及其制造方法 | |
冈贵郁; 阿部真司; 川崎和重; 佐久间仁 | |
2011-08-10 | |
著作权人 | 三菱电机株式会社 |
专利号 | CN102148477A |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 半导体发光元件及其制造方法 |
英文摘要 | 本发明涉及半导体发光元件及其制造方法。在n型GaN衬底(10)上形成有半导体层叠结构(12)。在半导体层叠结构(12)的上部形成有脊部(26)。沟道部(28)与脊部(26)相邻。平台部(30)与沟道部(28)的脊部(26)的相反侧相邻。第一绝缘膜(32)覆盖沟道部(28)。第一绝缘膜(32)在脊部(26)以及平台部(30)上具有开口。在第一绝缘膜(32)上形成有单层粘接层(34)。Pd电极(36)覆盖脊部(26)以及单层粘接层(34)的一部分,并且与脊部(26)的p型GaN接触层(24)连接。第二绝缘膜(38)覆盖单层粘接层(34)的未被Pd电极(36)覆盖的部分以及平台部(30)。 |
公开日期 | 2011-08-10 |
申请日期 | 2011-02-01 |
状态 | 失效 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90163] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 三菱电机株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 冈贵郁,阿部真司,川崎和重,等. 半导体发光元件及其制造方法. CN102148477A. 2011-08-10. |
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