| 一种基于高阶表面光栅的单模激光器 | |
| 陆巧银; 孙伟; 国伟华 | |
| 2016-08-03 | |
| 著作权人 | 华中科技大学 |
| 专利号 | CN105826813A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种基于高阶表面光栅的单模激光器 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种基于高阶表面光栅的单模激光器。该激光器为脊波导结构，横向由覆盖层、芯层和衬底构成。在靠近激光器输出端的前段脊波导表面上刻蚀有窄槽宽的高阶布拉格光栅，该组光栅的刻蚀深度不穿透芯层，提供激光器在输出端光反馈；激光器另外一端的后段脊波导不包含光栅，该端端面为深刻蚀界面，提供激光器在该端的光反馈。本发明不需要材料的二次外延生长，制作工艺简便，因而降低了器件的制作成本，提高了器件的可靠性；通过引入窄槽宽的高阶表面光栅，降低了光栅的辐射损耗，提高了激光器性能；通过深刻蚀方法形成的激光器后端面易精确定位，避免了解理端面产生的腔长不确定的问题，保证激光器有良好的单模特性。 |
| 公开日期 | 2016-08-03 |
| 申请日期 | 2016-05-06 |
| 状态 | 授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90128]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 华中科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陆巧银,孙伟,国伟华. 一种基于高阶表面光栅的单模激光器. CN105826813A. 2016-08-03. |
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