一种激光器及其制作方法
李翔; 赵德刚; 朱建军; 陈平; 刘宗顺; 江德生
2015-01-07
著作权人中国科学院半导体研究所
专利号CN104269740A
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种激光器及其制作方法
英文摘要本发明提出了一种激光器及其制作方法。所述激光器包括:N型砷化镓衬底;N型覆盖层,制作N型砷化镓衬底正面;第一超晶格层,制作在N型覆盖层上;N型波导层,制作在超晶格层上;有源层,制作在N型波导层上;P型波导层,制作在有源层上;第二超晶格层,制作在P型波导层上;P型覆盖层,制作在超晶格层上;P型欧姆接触层,制作在P型覆盖层上;P型欧姆电极,制作在P型欧姆接触层上;N型欧姆电极,制作在N型砷化镓衬底(10)背面。本发明中本发明利用超晶格层不仅能提供低折射率势垒,而且具有高的载流子输运的能力,使激光器同时具有低阈值电流、低垂直发散角以及高的载流子输运的能力。
公开日期2015-01-07
申请日期2014-09-23
状态授权
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/90063]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李翔,赵德刚,朱建军,等. 一种激光器及其制作方法. CN104269740A. 2015-01-07.
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