| 低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构 | |
| 李惠; 贾晓卫; 夏丰金; 郭广海 | |
| 2017-07-25 | |
| 著作权人 | 青岛科技大学 |
| 专利号 | CN106981822A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构，由下至上依次包括GaAs基衬底、下N型布拉格反射镜、有源区、一对上P型布拉格反射镜、低电阻GaAs基隧道结、氧化限制层和上N型布拉格反射镜。本发明采用了将低电阻GaAs基隧道结和氧化限制层相结合的小尺寸圆形台面的顶发射共面电极结构，以提高光通讯激光器的高速低能耗性能。该结构选用的BCB填充，不仅能够提供平坦的GSG电极平面，还能降低器件的寄生，提高器件的调制带宽；该结构采用不同尺寸的双台面结构提高器件热耗散能力，此结构不需要额外的热沉和散热片，且能够实现器件的直接高速共面探针测试，且可以避免底发射的减薄倒置，降低加工难度。 |
| 公开日期 | 2017-07-25 |
| 申请日期 | 2017-06-08 |
| 状态 | 申请中 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89961]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 青岛科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李惠,贾晓卫,夏丰金,等. 低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构. CN106981822A. 2017-07-25. |
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