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	ガラス微細穴加工用レーザ加工機及びガラス微細穴加工方法
	中村 玲王奈; 藤川 周一; 桂 智毅; 西前 順一
	2013-12-05
著作权人	三菱電機株式会社
专利号	JP2013241301A
国家	日本
文献子类	发明申请
其他题名	ガラス微細穴加工用レーザ加工機及びガラス微細穴加工方法
英文摘要	【課題】生産性の向上が図れ、かつ、コストも抑える。 【解決手段】加工対象物であるガラス28を搭載するステージ台27と、レーザビーム22を発振するレーザ発振器21と、発振されたレーザビーム22のビーム径の大きさやビーム形状を調整するビーム調整光学系23と、調整後のレーザビーム22の進行方向をガラス28に向けて調整する導光ミラー24と、導光されたレーザビーム22を成形するマスク25と、成形されたレーザビーム22をガラス28のレーザビーム入射面に集光する集光レンズ26とを備え、レーザビーム22のパルス幅を5μs以下に調整する。 【選択図】図1
公开日期	2013-12-05
申请日期	2012-05-21
状态	授权
内容类型	专利
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89431]
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	三菱電機株式会社
推荐引用方式 GB/T 7714	中村 玲王奈,藤川 周一,桂 智毅,等. ガラス微細穴加工用レーザ加工機及びガラス微細穴加工方法. JP2013241301A. 2013-12-05.

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