一种边发射半导体激光器件及其制造方法
招瑜; 张梦龙; 李京波
2017-07-21
著作权人广东工业大学
专利号CN106972344A
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种边发射半导体激光器件及其制造方法
英文摘要本发明公开了一种边发射半导体激光器件,所述激光器件包括衬底(1)、沉积于所述衬底(1)上的半导体外延层及设于所述半导体外延层的侧面的反射端面(8)和出射端面(9);所述半导体外延层自下而上包括第一导电包覆层(2)、发光层(3)及第二导电包覆层(4);所述第二导电包覆层(4)一端设置有第二电极(6),所述衬底(1)底部或所述第一导电包覆层(2)一端设置有第一电极(7);所述反射端面(8)上设置有周期介质复合层(10),所述周期介质复合层(10)由三维的周期性排列介质层(11)和低折射率材料层(12)组成;本发明还公开了一种边发射半导体激光器件的制造方法。本发明器件具有高的反射率,可有效减少谐振腔的腔面损耗。
公开日期2017-07-21
申请日期2017-04-13
状态申请中
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85668]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位广东工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
招瑜,张梦龙,李京波. 一种边发射半导体激光器件及其制造方法. CN106972344A. 2017-07-21.
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