| 一种减阻微结构加工系统及方法 | |
| 李珣; 李明; 刘红军; 谭羽 | |
| 2020-11-17 | |
| 著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 专利号 | CN201911386650.3 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 本发明属于激光加工技术领域，具体涉及一种减阻微结构加工方法，克服现有激光直写加工效率、控形能力较差的问题，加工系统包括沿光路依次设置的激光器、光路传输系统、分束与光斑切换系统以及紧聚焦光学系统；具体加工时，通过将待加工V形槽进行分层，并将激光光束分束同时根据分层结果调整光斑，一次可以进行至少两条V形槽结构的加工，提高加工效率的同时可提高激光微加工的控形能力。 |
| 公开日期 | 2020-04-24 |
| 申请日期 | 2019-12-29 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 授权 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/94025]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_瞬态光学技术国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李珣,李明,刘红军,等. 一种减阻微结构加工系统及方法. CN201911386650.3. 2020-11-17. |
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