氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析

	氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析
	邵景珍 1; 王玺 2; 胡红涛 1; 方晓东 1
刊名	激光与光电子学进展
	2017
卷号	54
关键词	激光技术薄膜准分子激光退火有限元分析热效应
ISSN号	1006-4125
其他题名	Thermal Effect Simulation Analysis on Excimer Laser Annealingof Zinc Oxide Thin Films
英文摘要	基于热传导方程建立了ZnO薄膜的准分子激光辐照理论模型,模拟分析了KrF准分子激光辐照ZnO薄膜的热效应。计算了薄膜的温度场分布和热流分布,讨论了激光作用过程中的温度随时间的变化关系,分析了激光能量密度对薄膜温度场的影响。模拟结果表明,ZnO薄膜的准分子激光退火具有急热骤冷特性,ZnO薄膜表面温度与激光能量密度呈线性增长关系,表面热熔融阈值为261mJ/cm~2。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:6022926
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/101913]
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位	1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.电子工程学院 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	邵景珍,王玺,胡红涛,等. 氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析[J]. 激光与光电子学进展,2017,54.
APA	邵景珍,王玺,胡红涛,&方晓东.(2017).氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析.激光与光电子学进展,54.
MLA	邵景珍,et al."氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析".激光与光电子学进展 54(2017).