准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究

	准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究
	朱能伟 2; 方晓东 2; 梁勖 2; 赵读亮 2
刊名	激光技术
	2017
卷号	041
关键词	光学器件激光器电场分布数值仿真紧凑型张氏面型电极
ISSN号	1001-3806
其他题名	Simulation study on electric field of Chang electrodes in excimer lasers
英文摘要	为了获得准分子激光器高脉冲能量输出,采用张氏面型电极的理论,设计了一套能产生大面积均匀电场的紧凑型电极.通过ANSYS软件数值仿真获得了电极表面电场分布,并与紧凑型张氏面型电极的理论计算结果进行了对比验证;分析了紫外火花预电离结构对电极放电的影响,并进行了电位和电场分布仿真.结果表明,预电离板的存在直接影响了电极之间的电位和电场分布;电场仿真结果解释了预电离板的顶端与阳极形成放电的原因.该研究为大面积辉光放电电极设计提供了更深入的理论支持.
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:6069745
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/100534]
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位	1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	朱能伟,方晓东,梁勖,等. 准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究[J]. 激光技术,2017,041.
APA	朱能伟,方晓东,梁勖,&赵读亮.(2017).准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究.激光技术,041.
MLA	朱能伟,et al."准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究".激光技术 041(2017).