硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响 | |
王传新3; 汪建华3; 满卫东3; 马志斌3; 王升高3; 傅朝坤4; 李克林4; 康志成5 | |
刊名 | 人工晶体学报
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2004 | |
卷号 | 033 |
关键词 | 附着力 基体 碳化 制备 脱碳 装置 磁控溅射法 金刚石薄膜 氢等离子体 过渡层 |
ISSN号 | 1000-985X |
其他题名 | Effect of the Carbonization Conditions on the Adhesion of Diamond Film on Cemented Carbide |
英文摘要 | 以WC-6%Co为基体,采用磁控溅射法,在酸蚀后进行氢等离子体脱碳试样上制备Ti过渡层,然后碳化过渡层为TiC。在电子辅助热丝化学气相沉积装置中制备金刚石薄膜。研究碳化条件对金刚石薄膜与基体附着力的影响。结果表明,在700℃左右的低温碳化,TiC结构致密,而在850%左右的高温碳化,TiC呈疏松的多孔组织,在CH4-Ar等离子体中碳化则850℃左右仍能获得致密的TiC层。在致密的过渡层上沉积的金刚石薄膜具有更高的附着力。 |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:1790856 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/99960] ![]() |
专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
作者单位 | 1.武汉化工学院 2.武汉化工学院 3.武汉化工学院 4.武汉化工学院 5.武汉化工学院 6.中国科学院等离子体物理研究所 7.自贡硬质合金有限公司 8.自贡硬质合金有限公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王传新,汪建华,满卫东,等. 硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响[J]. 人工晶体学报,2004,033. |
APA | 王传新.,汪建华.,满卫东.,马志斌.,王升高.,...&康志成.(2004).硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响.人工晶体学报,033. |
MLA | 王传新,et al."硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响".人工晶体学报 033(2004). |
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