硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响

	硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响
	王传新 3; 汪建华 3; 满卫东 3; 马志斌 3; 王升高 3; 傅朝坤 4; 李克林 4; 康志成 5
刊名	人工晶体学报
	2004
卷号	033
关键词	附着力基体碳化制备脱碳装置磁控溅射法金刚石薄膜氢等离子体过渡层
ISSN号	1000-985X
其他题名	Effect of the Carbonization Conditions on the Adhesion of Diamond Film on Cemented Carbide
英文摘要	以WC-6％Co为基体，采用磁控溅射法，在酸蚀后进行氢等离子体脱碳试样上制备Ti过渡层，然后碳化过渡层为TiC。在电子辅助热丝化学气相沉积装置中制备金刚石薄膜。研究碳化条件对金刚石薄膜与基体附着力的影响。结果表明，在700℃左右的低温碳化，TiC结构致密，而在850％左右的高温碳化，TiC呈疏松的多孔组织，在CH4-Ar等离子体中碳化则850℃左右仍能获得致密的TiC层。在致密的过渡层上沉积的金刚石薄膜具有更高的附着力。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:1790856
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/99960]
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位	1.武汉化工学院 2.武汉化工学院 3.武汉化工学院 4.武汉化工学院 5.武汉化工学院 6.中国科学院等离子体物理研究所 7.自贡硬质合金有限公司 8.自贡硬质合金有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	王传新,汪建华,满卫东,等. 硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响[J]. 人工晶体学报,2004,033.
APA	王传新.,汪建华.,满卫东.,马志斌.,王升高.,...&康志成.(2004).硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响.人工晶体学报,033.
MLA	王传新,et al."硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响".人工晶体学报 033(2004).