用于平板显示 LTPS制备的 ELA光束整形系统

	用于平板显示 LTPS制备的 ELA光束整形系统
	尹广玥 2; 游利兵 2; 方晓东 2
刊名	激光技术
	2016
卷号	040
关键词	激光技术平板显示准分子激光退火低温多晶硅光束整形匀光
ISSN号	1001-3806
其他题名	ELA-beam shaping systems for flat panel display prepared by LTPS
英文摘要	介绍了多晶硅薄膜较非晶硅薄膜在平板显示领域的优势以及准分子激光晶化制备多晶硅膜的结晶过程。介绍了透镜阵列实现匀光的原理。阐述了典型的准分子激光退火线型光束整形系统的扩束、匀光、投影等结构。并介绍了连续横向固化技术在准分子激光制备低温多晶硅领域的应用。讨论了准分子激光退火光学系统的发展现状，指出了其在平板显示行业的重要意义。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:5709375
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/98390]
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位	1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	尹广玥,游利兵,方晓东. 用于平板显示 LTPS制备的 ELA光束整形系统[J]. 激光技术,2016,040.
APA	尹广玥,游利兵,&方晓东.(2016).用于平板显示 LTPS制备的 ELA光束整形系统.激光技术,040.
MLA	尹广玥,et al."用于平板显示 LTPS制备的 ELA光束整形系统".激光技术 040(2016).