紫外光驱动微纳结构薄膜的气敏特性研究

	紫外光驱动微纳结构薄膜的气敏特性研究
	苏星松 2; 周飞 2; 许宗珂 2; 李圆圆 2; 段国韬 2
刊名	电子科技大学学报
	2017
卷号	046
关键词	气敏性能微纳有序多孔薄膜灵敏度紫外光 ZnO
ISSN号	1001-0548
其他题名	Progress in Research on NO2 Gas Sensing Properties of ZnO Micro/Nanoporous Array Thin Films Under UV Irradiation
英文摘要	采用基于有机模板的溶液浸渍一无损转移法制备zn0微纳多孔有序薄膜，研究了在不同紫外光强度照射下和不同尺寸孔径的zn0微纳多孔有序薄膜对N02气敏性能的影响。结果表明，rX500nrfl聚苯乙烯（Ps）球为模板制备的ZnO微纳多孔薄膜传感器，在0．35mW／cm。紫外光照射下具有较高的灵敏度、较快的响应和恢复时间。随着紫外光强度的增强和孔径尺寸的增大，ZnOg微纳多孔薄膜传感器的灵敏度降低；且在紫外光照射下ZnO微纳有序多孔薄膜对乙醇、甲醛、H2S、S02和CH4等气体具有很好的选择性。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:6037193
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/97959]
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位	1.中国科学院固体物理研究所 2.中国科学院固体物理研究所 3.中国科学院固体物理研究所 4.中国科学院固体物理研究所 5.中国科学院固体物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	苏星松,周飞,许宗珂,等. 紫外光驱动微纳结构薄膜的气敏特性研究[J]. 电子科技大学学报,2017,046.
APA	苏星松,周飞,许宗珂,李圆圆,&段国韬.(2017).紫外光驱动微纳结构薄膜的气敏特性研究.电子科技大学学报,046.
MLA	苏星松,et al."紫外光驱动微纳结构薄膜的气敏特性研究".电子科技大学学报 046(2017).