W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC—6％Co上的附着力的影响

	W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC—6％Co上的附着力的影响
	王传新 3; 汪建华 3; 满卫东 3; 马志斌 3; 王升高 3; 康志成 4
刊名	高压物理学报
	2004
卷号	018
关键词	复合材料微波等离子体化学气相沉积装置金刚石薄膜附着力钨过渡层
ISSN号	1000-5773
其他题名	Effects of W Diffusion Barrier Layer for Diamond Coatings Deposited on WC-Co Substrates
英文摘要	在微波等离子体化学气相沉积装置中，采用负偏压形核等方法，研究两种不同的W过渡层／基体结合界面对金刚石薄膜与WC—6％Co附着力的影响。采用氢等离子体脱碳、磁控溅射镀W、高偏压碳化等方法，在YG6衬底表面形成化学反应型界面，W膜在碳化时和基体WC连为一体，极大地增加了W膜与基体的附着力，明显优于直接镀钨、碳化形成的物理吸附界面。在高负偏压下碳化，能提高表面粗糙度，增加膜与基体机械钳合，而负偏压形核增加核密度，从而增加膜与基体的接触面积，结果极大地提高了金刚石薄膜的附着力。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:1510975
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/96424]
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位	1.武汉化工学院 2.中国科学院等离子体物理研究所 3.武汉化工学院 4.武汉化工学院 5.武汉化工学院 6.武汉化工学院
推荐引用方式 GB/T 7714	王传新,汪建华,满卫东,等. W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC—6％Co上的附着力的影响[J]. 高压物理学报,2004,018.
APA	王传新,汪建华,满卫东,马志斌,王升高,&康志成.(2004).W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC—6％Co上的附着力的影响.高压物理学报,018.
MLA	王传新,et al."W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC—6％Co上的附着力的影响".高压物理学报 018(2004).