极紫外平场光栅光谱仪的研制和性能测试

	极紫外平场光栅光谱仪的研制和性能测试
	杜学维 1; 沈永才 2; 李朝阳 1; 安宁 1; 石跃江 2; 王秋平 1
刊名	光谱学与光谱分析
	2012
卷号	032
关键词	光谱仪变线距光栅光谱分辨率等离子体诊断
ISSN号	1000-0593
其他题名	EUV Flat Field Grating Spectrometer and Performance Measurement
英文摘要	研制了一台高分辨率极紫外光谱仪,用于磁约束等离子体诊断。采用一块具有平场特性的全息球面变线距光栅作为分光元件,光栅公称线密度为1 200lines.mm-1,掠入射角为3°。一台可深度制冷、背照式面阵CCD作为光谱探测器,用机械快门控制曝光时间。通过CCD在光谱聚焦面的移动,可以记录的光谱范围为5～50nm。用Penning放电光源测试了光谱仪的性能;利用光源的标准谱线,进行了波长标定,波长精度为0.003nm,并计算出系统各参数的实际值;当入缝宽度设置为30μm时,在20nm附近,光谱分辨率达0.015nm,达到设计指标。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:4594309
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/56833]
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位	1.中国科学技术大学 2.中国科学院等离子体物理研究所 3.中国科学技术大学 4.中国科学技术大学 5.中国科学院等离子体物理研究所 6.中国科学技术大学
推荐引用方式 GB/T 7714	杜学维,沈永才,李朝阳,等. 极紫外平场光栅光谱仪的研制和性能测试[J]. 光谱学与光谱分析,2012,032.
APA	杜学维,沈永才,李朝阳,安宁,石跃江,&王秋平.(2012).极紫外平场光栅光谱仪的研制和性能测试.光谱学与光谱分析,032.
MLA	杜学维,et al."极紫外平场光栅光谱仪的研制和性能测试".光谱学与光谱分析 032(2012).